Reaktiivne ioonsöövitus on teatud tüüpi tehnoloogia, mida kasutatakse mikrotootmises ainete eemaldamiseks vahvlitelt. Vahvlid on väikesed pooljuhtribad, mida kasutatakse mikroseadmete loomisel ja reaktiivioonide söövitamise tehnoloogia tagab, et need ei sisalda materjale, mis võiksid nende tõhusust negatiivselt mõjutada. Mikrotootmisprotseduurid viiakse läbi spetsiaalselt loodud seadmetega, mis määravad täpselt kindlaks eemaldatava aine ilma vahvli terviklikkust ohverdamata.
Kõige tavalisem reaktiivioonide söövitusseade on valmistatud silindrikujulisest vaakumkambrist, mille kambri põhjaosa külge on kinnitatud isoleeritud vahvlihoidik. Anuma ülaosas on väikesed augud, mis lasevad gaasi sisse. Sõltuvalt konkreetse vahvli individuaalsetest nõuetest kasutatakse erinevat tüüpi gaase.
Induktiivsidestatud plasma on selle tehnoloogia teine viis. Selle seadmega luuakse plasma väga spetsiifilise magnetvälja abil. Selle meetodi abil saavutatakse kõrge plasmakontsentratsiooni tase.
Reaktiivse iooniga söövitav plasma on aine olek, mis on keemiliselt reaktiivne ja mille tekitab standardsema raadiosagedusliku (RF) elektromagnetvälja toime. Plasma ioonidel on ebatavaliselt suur energiahulk. Need ioonid reageerivad vahvlil olevale prahile ja eemaldavad selle pinnal olevad defektid.
Reaktiivse ioonide söövitamise keemiline protsess on mitmetahuline. Esiteks saadetakse vahvlikambrisse oluline elektromagnetväli. Seejärel väli võngub, mis ioniseerib anumas olevad gaasimolekulid ja eemaldab nende elektronid. Selle tulemusena tekib plasma.
Reaktiivne ioonsöövitus on üks laiemast mikrotootmise eemaldamise kategooriast, mida nimetatakse kuivsöövitamiseks. See ei kasuta eemaldamisprotsessis vedelikke, erinevalt märgsöövitusest, mille puhul kasutatakse sama tulemuse saavutamiseks erinevaid happeid ja kemikaale. Kuna märgsöövitamine põhjustab vahvli allalõikamist ja märkimisväärses koguses mürgiseid jäätmeid, on kuivsöövitamine muutumas populaarsemaks meetodiks vahvlite keemiliseks eemaldamiseks.
Reaktiivse iooni söövitamise üks peamisi puudusi on hind. Võrreldes märgsöövitamise tehnikatega on see vajamineva spetsiaalse varustuse tõttu palju kallim. Kuivsöövitusprotsessid on üldiselt vahvli keerukamate piirkondadeni jõudmisel palju tõhusamad. Siiski on oluline meeles pidada, et mõned tööd ei nõua selle söövitamise vormi pakutavaid pisiasju ning märgsöövitusprotseduurid võivad ülesandega sama tõhusalt toime tulla.