Mis on pritsiv sihtmärk?

Pihustav sihtmärk on materjal, mida kasutatakse õhukeste kilede loomiseks pihustussadestamise või õhukese kile sadestamise tehnikas. Selle protsessi käigus pihustav sihtmaterjal, mis algab tahke ainena, laguneb gaasiliste ioonide abil väikesteks osakesteks, mis moodustavad pihusti ja katavad teise materjali, mida nimetatakse substraadiks. Pihustussadestamine on tavaliselt seotud pooljuhtide ja arvutikiipide loomisega. Selle tulemusena on enamik pihustusmaterjalidest metallist elemendid või sulamid, kuigi saadaval on ka keraamilisi sihtmärke, mis loovad erinevatele tööriistadele kõvastunud õhukese katte.

Sõltuvalt loodava õhukese kile olemusest võivad pihustavad sihtmärgid olla väga suure suuruse ja kujuga. Väiksemate sihtmärkide läbimõõt võib olla alla ühe tolli (2.5 cm), samas kui suurimate ristkülikukujuliste sihtmärkide pikkus ulatub tunduvalt üle ühe jardi (0.9 m). Mõned pihustusseadmed nõuavad suuremat pihustussihtmärki ja sellistel juhtudel loovad tootjad segmenteeritud sihtmärgid, mis on ühendatud spetsiaalsete liigenditega.

Pihustamissüsteemide, õhukese kile sadestamise protsessi läbi viivate masinate konstruktsioonid on muutunud palju mitmekesisemaks ja spetsiifilisemaks. Sellest lähtuvalt on hakanud laienema ka sihtmärgi kuju ja struktuur. Pihustatava sihtmärgi kuju on tavaliselt ristküliku- või ringikujuline, kuid paljud sihtmärkide tarnijad saavad soovi korral luua täiendavaid erikujusid. Teatud pihustussüsteemid nõuavad pöörlevat sihtmärki, et saada täpsem ja ühtlane õhuke kile. Need sihtmärgid on kujundatud pikkade silindritena ja pakuvad täiendavaid eeliseid, sealhulgas kiiremat sadestuskiirust, väiksemat kuumakahjustust ja suuremat pindala, mis suurendab üldist kasulikkust.

Sihtmaterjalide pihustamise efektiivsus sõltub mitmest tegurist, sealhulgas nende koostisest ja nende lõhustamiseks kasutatavate ioonide tüübist. Õhukestel kiledel, mis nõuavad sihtmaterjaliks puhtaid metalle, on tavaliselt suurem struktuurne terviklikkus, kui sihtmärk on võimalikult puhas. Pihustava sihtmärgi pommitamiseks kasutatavad ioonid on samuti olulised korraliku kvaliteediga õhukese kile saamiseks. Üldiselt on argoon esmane gaas, mis valitakse ioniseerimiseks ja pihustusprotsessi algatamiseks, kuid kergemate või raskemate molekulidega sihtmärkide puhul on efektiivsem teistsugune väärisgaas, näiteks kergemate molekulide puhul neoon või raskemate molekulide puhul krüptoon. On oluline, et gaasiioonide aatommass oleks sarnane pihustatavate sihtmolekulide omaga, et optimeerida energia ja impulsi ülekandmist, optimeerides seeläbi õhukese kile ühtlust.