Skaneeriv elektronmikroskoop (SEM) on väga kõrge eraldusvõimega mikroskoop, mis võimaldab näha väikseid asju väga detailselt. See on kiire ülevaade selle kohta, kuidas seda kasutades näidist pildistada. Pidage meeles, et SEM on väga õrn seade ja seda tuleks kasutada väga ettevaatlikult. Nende sammude täpne järgimine tagab aga peaaegu, et te ei kahjusta oma mikroskoopi. Samuti on palju muid funktsioone, mida selles artiklis ei käsitleta, kuid see protseduur kirjeldab põhipildi saamist. Selles artiklis antakse konkreetsed juhised JEOL JSM-6010LA mikroskoobi jaoks. Kõigil JEOL-mikroskoobidel on äärmiselt sarnased juhtnupud selles juhendis kirjeldatud mikroskoobiga. Hitachi mikroskoobid on samuti väga sarnased, kuid teistel kaubamärkidel, näiteks Zeissil, võivad juhtnupud olla erinevates kohtades.
1
Hankige ettevalmistatud proov. Proovi ettevalmistamine elektronmikroskoopia jaoks on iseenesest väga põhjalik protseduur, seega kasutage selle protseduuri jaoks proovi, mis on teile ette valmistatud. Kui SEM jaoks valmistatakse proov, peab see olema sobiva suurusega ja sellel peab olema ka juhtiv pind. Kuna näidis on juba ette valmistatud, eeldatakse, et see artikkel vastab nendele nõuetele.
2
Proovi luugi avamiseks viige SEM atmosfäärirõhuni. Mõistke, et SEM on alati sisse lülitatud ja proovikamber on alati vaakumi all. See tähendab, et kamber on gaasimolekulidest täiesti tühi, nii et elektronidel on proovi suunas vaba tee. Â Vajutage ja hoidke nuppu VENT, kuni see vilgub ja kuulete klõpsatust. Nupp VENT jätkab vilkumist, kuni keskkond kambris tõuseb atmosfäärirõhuni. Kui nupp VENT on ühtlaselt oranž, tähendab see, et kambris on atmosfäärirõhk ja saate ukse avada.
3
Pange kindad kätte. See on äärmiselt oluline, sest SEM-i kamber peab jääma väga puhtaks! Kasutades ukse mõlemal küljel olevaid käepidemeid, libistage uks aeglaselt välja. Kui uks on avatud, haarake ettevaatlikult proovihoidikust ja libistage seda paremale. See tuleb soontest lahti ja nüüd saate oma proovi laadida. Proovihoidiku igas neljas nurgas on kaks kinnituskruvi, mis hoiavad proovi paigal. Keerake need kruvid veidi lahti (poolt kruvikeeraja pöördest peaks piisama) ja seejärel eemaldage toorik hoidikust. Võite tühja proovi praegu kõrvale panna, kuid asetage see kindlasti Kimwipe’ile, mitte otse lauale. või lauale. Asetage oma proov hoidikusse ja keerake kruvid kinni. Kui proov on paigas, libistage proovihoidik proovilaval tagasi oma soontesse. Nüüd saate ukse sulgeda, lükates ust tagasi. kambrisse.
4
Hoides ust kinni, vajutage ja hoidke all EVAC nuppu, kuni see hakkab vilkuma, et viia kamber tagasi vaakumi alla. Kuulete klõpse, seejärel umbes minuti pärast kuulete, kuidas pumba turbiinid üles pöörlevad. Need pumbad eemaldavad kambrist kõik gaasiosakesed ja viivad siserõhu umbes 10^-6 torrini. Kui EVAC-nupp helendab roheliselt, tähendab see, et kamber on vaakumis. Nüüd oodake veel 5 minutit, enne kui jätkate järgmise sammuga.
5
Kui 5 minutit on möödas, olete valmis elektronkiire sisse lülitama ja pildistama! Minge SEM-i arvutisse ja mikroskoobi tarkvara peaks olema sisse lülitatud. Roheline nupp ekraani paremas ülanurgas ütleb VÄLJAS, mis näitab, et elektronkiir on välja lülitatud. Kiire sisselülitamiseks klõpsake seda ja seejärel teatab see ON. Järgmisena klõpsake nuppu ACB (automaatne kontrastsus ja heledus) ja teie näidis peaks ilmuma nähtavale.Suumige soovitud suurenduseni juhtpaneeli suurendusnupu abil. . Hea mõte on teha teravustamine suurema suurendusega, kui soovite oma pildi jaoks, nii et teie pilt näeb välja suumides parem välja. Näiteks kui soovite pilti 2500x, võiksite teravustada umbes 4000x. Kui olete sisse suuminud, kasutage pildi fookusesse toomiseks teravustamise nuppu.
6
Reguleerige proovi kõrgust. Nüüd on teie näidis fookuses, kuid võite märgata, et see ei näe nii hea välja, kui eeldaksite. Näidise pildi all arvutiekraanil näete töökaugust, mis on määratud kui “WD x mm”, kus x on arv tavaliselt umbes 10-20. Võtke see number teadmiseks. Heade piltide jaoks võiksite kasutada 10 mm töökaugust. See tähendab, et kiir on teravustatud objektiivist 10 mm kaugusele. Töökauguse määramiseks klõpsake “WD x mm” ja ilmub liugur, mis võimaldab teil muuta mis tahes arvu x väärtuseks 10. Jätkake ja klõpsake 10. Praegu on proovi kõrgus Z=25 mm. Proovi kõrguse muutmiseks kasutage Z-nuppu. See osa võib olla keeruline. Olenemata algsest töökaugusest lahutage 10 ja nii palju on teil vaja Z-nuppu liigutada. Näiteks kui teie WD oli 16 mm ja muutsite selle 10 mm peale, peate Z-nuppu nihutama umbes 6 mm allapoole. Nii et keerate selle umbes 19 mm peale. Z-nuppu keerates jälgige ekraani, sest see hakkab teravustama. Kui see on fookuses, on teie pilt valmis!
7
Suumige tagasi soovitud suurenduseni ja kui soovite liikuda oma proovi mõnele muule alale, saate kasutada nuppe X ja Y. Samuti saate reguleerida kontrasti ja heledust oma maitse järgi. Kui leiate endale meelepärase piirkonna, tehke pilt, klõpsates kaameraikoonil „POE”. See avab dialoogiboksi, mis võimaldab teil pildifaili salvestada. Saate failile oma valitud nime anda ja salvestada selle mis tahes arvuti kausta või mälupulgal.
8
Lülitage elektronkiir välja, klõpsates paremas ülanurgas rohelist nuppu “ON”. Enne jätkamist veenduge, et see ütleb “OFF”. Pöörake X-, Y- ja Z-nuppe nii, et iga väärtus oleks 25 mm. Nüüd vajutage ja hoidke nuppu VENT, kuni see vilgub, et viia proovikambris tagasi atmosfäärirõhk.
9
Avage proovikamber, kui nupp VENT on ühtlaselt oranž. Kui olete proovi hoidikust eemaldanud, asetage tühiproov tagasi hoidikusse ja libistage see tagasi proovifaasi. Lükake uks tagasi suletud asendisse. Lõpuks vajutage ja hoidke EVAC nuppu all, kuni see vilgub. ÄRGE KUNAGI jätke SEM-kambrit õhutatuks, see võib kahjustada sisemisi osi. Kui EVAC-nupp põleb roheliselt, salvestatakse see SEM-ist lahkumiseks.